以此成就标准化的经典真空泵设计，适合从小型芯片泵到大容量泵的全尺寸范围。大部分泵将配备 COAX® 发生管，基于 COAX® 技术的真空系统可提供比传统系统多三倍的真空流量，提高可靠性和速度，同时降低能源消耗。